闫辉, 薛爽, 郭佩文, 贺家乐, 王光宁, 曾银龙, 郄龙飞, 和 王瑞雪. 《低温等离子体抛光技术在芯片材料加工中的研究进展》. 清洁能源科学与技术, 卷 2, 期 4, 2024年11月, 页 226, doi:10.18686/cncest226.