闫辉, 薛爽, 郭佩文, 贺家乐, 王光宁, 曾银龙, 郄龙飞 和 王瑞雪 (2024) 《低温等离子体抛光技术在芯片材料加工中的研究进展》, 清洁能源科学与技术, 2(4), 页 226. doi: 10.18686/cncest226.