闫辉; 薛爽; 郭佩文; 贺家乐; 王光宁; 曾银龙; 郄龙飞; 王瑞雪. 低温等离子体抛光技术在芯片材料加工中的研究进展. 清洁能源科学与技术, [S. l.], v. 2, n. 4, p. 226, 2024. DOI: 10.18686/cncest226. Disponível em: https://cae.usp-pl.com/index.php/cncest/article/view/226. Acesso em: 22 12月. 2024.