闫辉, 薛爽, 郭佩文, 贺家乐, 王光宁, 曾银龙, 郄龙飞, & 王瑞雪. (2024). 低温等离子体抛光技术在芯片材料加工中的研究进展. 清洁能源科学与技术, 2(4), 226. https://doi.org/10.18686/cncest226