闫辉, 薛爽, 郭佩文, 贺家乐, 王光宁, 曾银龙, 郄龙飞 和 王瑞雪 2024. 低温等离子体抛光技术在芯片材料加工中的研究进展. 清洁能源科学与技术. 2, 4 (11月 2024), 226. DOI:https://doi.org/10.18686/cncest226.